モリブデンターゲット
適用性
モリブデンスパッタリングターゲットは、機械的強度、耐熱性、耐食性に優れています。モリブデンターゲットは、厳しい液体やガス環境でも破壊されず、高い弾性率と低い線膨張係数を持っています。これらの特性により、モリブデンターゲットは最も重要で困難な製造条件で使用できます。モリブデンスパッタリングターゲットは、タングステン製ターゲットと比べると約2倍軽く、モリブデン製品は特定強度が高くなります（温度が1370°C以下の場合）。唯一の欠点は、モリブデンは希少金属であり、純粋な形で抽出するのが困難なため高い製造コストです。また、高融点で加工が困難です。
物理的特性
| 説明 | 記号 |
|---|---|
| データ取得温度 t°С | 20°C |
| 密度 [g/cm3] | 10.2 |
| 線膨張係数 α [1/°C] | 4.9x10−6 |
| 融点 t°С | 2620°C |
| 比熱容量（t° 20°C） C [kJ/(kg·K)] | 0.256 |
| 熱伝導率 K [W/(m·K)] | 142 |
| 比電気抵抗 R [Ω·mm2/m] | 0.054 |
化学的特性
モリブデンは、80−100°Cで塩酸や硫酸と反応します。硝酸や王水は100°Cでモリブデンを溶解します。冷たいアルカリ溶液では安定していますが、熱いアルカリ溶液ではゆっくりと分解します。テクニカルグレードのモリブデンに微量に含まれる炭素、酸素、ケイ素、アルミニウム、窒素、鉄、硫黄、カルシウム、リンの不純物は、モリブデンの特性に大きな影響を与えます。これらの不純物の主な部分はモリブデンを脆くします。最も有害な不純物は酸素です。酸素の含有量が0.0008−0.004%である場合、低融点酸化物は急激に脆くなり、特に炭素と窒素が同時に存在する場合に塑性変形特性を低下させる可能性があります。酸素の割合が0.015%を超えると、モリブデンが重圧成形処理されず、脆くなります。
製造
モリブデンスパッタリングターゲットは、エレクトロンビームおよびゾーンメルト法で平板、ディスク、管状に製造されます。顧客の図面に基づき、モリブデンスパッタリングターゲットは任意の形状で寸法と公差を満たして製造されます。
モリブデンスパッタリングターゲットの種類
МЧВП, ОЧМ, ТСМ3, ТСМ4, 58.8; 4604; 4605, ЦМВ30, ЦМ3, ЦМ1, ЦМ5, ЦМ6, МЛТ, ВМ2, ВМ1, ВМ3, МР-10, МР47ВП
海外合金名（アメリカ）
Mo, TZC, TM, TZM, Mo-50Re, WM.
最大寸法のモリブデン平面ターゲット、mm:
- 長方形ターゲット: 400x1550;
- 円盤状ターゲット、直径630;
モリブデンスパッタリングターゲットの用途
モリブデンターゲットは、光学機器用ガラスやソーラーパネルに超薄膜を形成するために使用されます。
サプライヤー
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