タングステンスパッタリングターゲット

ターゲットの仕様

平板、円板、リング、回転型など、成膜装置に合う形状と寸法を確認します。純度、密度、組織、表面仕上げなどの要求は用途によって異なるため、図面と仕様書を基準に供給可否を判断します。

見積もりに必要な情報

• 純度、材質規格、分析証明の要否
• 外形寸法、厚さ、公差、表面粗さ
• バッキングプレートの材質と接合方法
• 使用装置、数量、検査・梱包条件

製作と配送

既存ターゲットの図面または装置仕様をお送りください。製作可能な形状、接合、検査、価格、納期、日本向け配送を個別に確認します。