タングステンターゲット

技術仕様

スパッタリングに使用されるタングステンターゲットは、優れた耐熱性（タングステンの溶解温度は+3422°C）や高い弾性率、温度クリープ抵抗、他の材料と比較して最小の熱膨張係数、強度、信頼性、耐久性を備えています。

物理的特性

タングステンターゲットは通常の温度下では十分な塑性と剛性を持ちません。欠点としては、純粋な形でタングステンを得ることの難しさ、大きな比重（ゴールドと同じ）、および低温での脆さがあります。タングステンターゲットはその優れた特性のため、大きな加熱を伴ってのみ加工（圧延、引き伸ばし、鍛造）が可能です。

製造と用途

タングステンターゲットは、顧客の図面に基づいて、さまざまな形状の平板、板およびチューブとして製造されます。複雑な形状のタングステンターゲットには、銅で浸漬した粉末成形品の機械加工が利用されます。加工終了後、銅は真空で焼却され、粉末成形品は90%の密度まで密着されます。タングステンチューブは、超音波成型法でロッドを用いて製造されます。価格はサイズの複雑さ、形状、および追加の要件に基づいて決定され、注文時に定められます。材料の純度と製造技術の厳格な遵守は、高い強度と耐熱性を保証します。タングステンターゲットは、光学機器のガラスや太陽電池などの薄膜コーティングに使用されます。

タングステンターゲットとその種類：

• В-ПМ
• ВА
• ЦСВД
• В-ППМ

平面ターゲットの最大寸法：

• ディスク型ターゲット直径630 mm;
• 長方形ターゲット：400x1550 mm;

通常のターゲットパラメータ：

• 0.710"X 4.75″ X 44.000″
• 304.8x304.8x3.17–9.5 mm
• 812x127x8 mm
• 15x133x778 mm
• 18x248x300 mm
• 214x1600x11 mm
• 14x108x1462 mm
• 直径322 mm x δ
• 直径152X外径132.5xL750 mm
• 直径152x外径125xL800 mm
• 直径157x外径125L1900 mm
• 直径168x外径144xL1000 mm
• 直径165.5X外径125xL1650 mm

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